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凈化原理：該凈化機利用催化劑促使氬氣中的微量氧氣與碳反應(yīng)生成二氧化碳，從而除去氬氣中的雜質(zhì)氧氣，再利用分子篩吸附脫除氬氣中的H2O、CO2等雜質(zhì)，即可得到高純氬氣供用氣設(shè)備使用。

對原料氬氣要求

一般瓶裝純氬，液氬、控制較好的管道氬氣。

雜質(zhì)要求： O2≤1000PPm, H2O≤1000PPm。

輸出純氣：純度：99.9998%

雜質(zhì)含量：O2≤0.5PPm，H2O≤1PPm(即露點≤-76℃)，CO+CO2≤0.1PPm，S、P的氧化物≤0.1PPm。

塵埃粒子數(shù)(≥0.3μm)3-5個/升。  工作壓力：0.4-1.5MPa。  處理氣量：4NM3/h。

設(shè)備特點

1)催化劑活性高，凈化后的氣體純度高。

2)雙式結(jié)構(gòu)，一組工作另一組再生備用，故能長期連續(xù)供氣。

3)采用本機純氣吹掃的再生流程，再生不用氫，故不需專用機房，安全性好。

4)GYA-4C對再生具有自動功能，操作更簡單，并且不易出錯，性能也更穩(wěn)定可靠。

5)系統(tǒng)采用零泄露的波紋管閥門而不是故障率和泄漏量都較大的電磁閥，設(shè)備的可靠性更高。

6)設(shè)備自帶緩沖罐，輸出氣體純度、壓力更穩(wěn)定，更適合光譜儀使用。